OPUS3 SP

OPUS3 SP 為高銷計數設備（如一鍵式 Probing）具有更高的精密度和剛性。

OPUS3 / SL 是全世界最小型的自動 Prober。
可以處理沒有更換工具包的6”、8”及12”半標準晶圓，還可以使用為更小佈局的平台的產品。為了支持更多設備，OPUS3提供較快的索引時間，還提供多種溫度選項。