OPUS3 FD12

OPUS3 FD12的目的是不僅處理框架晶圓，還處理半標準晶圓。具有對被切斷或重新組成的晶圓的特別排列算法，可以適用所有 Prober 的功能。

OPUS3 / SL 是全世界最小型的自動 Prober。
可以處理沒有更換工具包的6”、8”及12”半標準晶圓，還可以使用為更小佈局的平台的產品。為了支持更多設備，OPUS3提供較快的索引時間，還提供多種溫度選項。